三坐标测量仪、量具和量规均具有检测几何尺寸的功能，但各自具有不同的特点：
三坐标测量仪是在三维直角坐标系统内测量长度的仪器。通常配有计算机进行数据处理和控制操作。三坐标测量仪是测量和获得尺寸数据的最有效的方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并快速准确地评价尺寸数据，为操作者提供关于生产过程状况的有用信息，这与所有的手动测量设备有很大的区别。
量具：量具是测量零件的尺寸、角度、形状精度和相互位置精度等所用的测量工具。量具是实物量具的简称，它是一种在使用时具有固定形态、用以复现或提供给定量的一个或多个已知量值的器具。例如砝码、标准电池、色温灯、电阻器、量块、信号发生器以及(单值或多值的、带或不带标尺的)量器等都是量具。常用量具包括:游标卡尺、千分尺以及百分表等。
量规：量规结构简单，通常为具有准确尺寸和形状的实体，如圆锥体、圆柱体、块体平板、尺和螺纹件等。常用的量规有量块、角度量块、多面棱体、正弦规、直尺、平尺、平板、塞尺 、平晶和极限量规等 。用量规检验工件通常有通止法、着色法、光隙法和指示表法。其中利用通止法检验的量规称为极限量规(如卡规、光滑塞规、螺纹塞规、螺纹环规等)。
在使用三坐标测量机进行测量时，如果遇到测量结果偏差过大，那么请按以下方法进行问题排查;
三坐标测量机的测量结果偏差过大原因分析：
1. 装夹工件不可靠。
2. 工件表面粗糙度过大或者工件表面附着脏物。
3. 三坐标测量机附件连接不可靠。
4. 进行测针校正。
5. 测量方法错误。
三坐标测量机的测量结果偏差过大解决方案：
1. 工件在测量时(尤其是质量较小的工件)，应确保有夹具装夹，测量时不能有相对移动，这将有助于提高测量的准确性。
2. 被测工件在测量前应先进行恒温处理，然后认真清理清洁被测物体表面，保证无赃物以及表面光洁度。
3. 进行测量前确保所有附件连接的可靠性。
4. 当更换测针进行测量时，请先进行三坐标测针的装配及校正，保证测量结果的可靠性。
5. 合理正确的测量方案，将会有效的提高测量的准确性，请在测量前对被测方案进行合理性确认。
6. 另外，由于环境条件因素也可引起测量误差，请在正确的环境下进行测量。
